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德國海德漢HEIDENHAIN光柵尺傳感器介紹與工作原理

更新時間:2021-06-10      點擊次數(shù):2133

什么是光柵?

   光柵是結(jié)合數(shù)碼科技與傳統(tǒng)印刷的技術(shù),能在特質(zhì)的膠片上顯示不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的立體世界。電影般的流暢動畫片段,匪夷所思的幻變效果。

   光柵是一張有條狀透鏡注冊的薄片,當(dāng)我們從鏡頭的一邊看過去,將看到在薄片另一面上的一條很細(xì)的線條上的圖像,而這條線的位置則由觀察角度來決定。如果我們?nèi)绻覀儗⑦@數(shù)幅在不同線條上的圖像,對應(yīng)于每個透鏡觀察,將看到不同的圖像。

  光柵尺:其實起到的作用是對刀具和工件的坐標(biāo)一起檢測的作用,在數(shù)控機床中常用來觀察其師傅走刀有誤差,以起到一個補償?shù)毒叩倪\動的誤差的補償作用,其實就像人的眼睛看到我切割沒偏的作用,然后可以給手起到一個是否要調(diào)整我是否要改變用力的標(biāo)準(zhǔn)。

工作原理

莫爾條紋

      以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ,并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時,在光源的照射下,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋” (右圖所示)。嚴(yán)格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,以W表示。

莫爾條紋莫爾條紋

W=ω /2* sin(θ /2)=ω /θ 。

莫爾條紋具有以下特征:

(1)莫爾條紋的變化規(guī)律

       兩片光柵相對移過一個柵距,莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),變化周期數(shù)與光柵相對位移的柵距數(shù)同步。

(2)放大作用

         在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則

W=ω /θ

若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。

(3)均化誤差作用

莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

             光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。

             在一個莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個光電器件就能實現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運放構(gòu)成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2,為得到判向和計數(shù)脈沖,需對這兩路信號進(jìn)行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過對方波的相位進(jìn)行判別比較,就可以得到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進(jìn)行計數(shù),可以得到光柵尺的位移和速度

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